| NIM | H1E012021 |
|---|
| Namamhs | ADE MAULANA FADILLAH |
|---|
| Judul Artikel | PEMBUATAN DAN KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS MgB2 PADA SUBSTRAT Al2O3 UNTUK KAJIAN BAHAN SUPERKONDUKTOR |
|---|
| Abstrak (Bhs. Indonesia) | Telah dilakukan penelitian tentang pembuatan dan karakterisasi lapisan tipis MgB2 pada substrat Al2O3 untuk kajian bahan superkonduktor. Lapisan tipis dibuat dengan variasi waktu deposisi 30 dan 42 menit dengan metode RF Sputtering. Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui teknik pembuatan bahan superkonduktor dengan menggunakan metode RF Sputtering, serta mengetahui karakteristik dari lapisan tipis tersebut. Dari hasil yang diperoleh menunjukan bahwa waktu deposisi dapat mempengaruhi ketebalan dan konsentrasi unsur yang terkandung pada lapisan tipis MgB2 pada substrat Al2O3 sehingga merubah nilai resistansinya. Nilai resistansi sampel dengan waktu deposisi 30 menit dan 42 menit berturut-turut yaitu 1,213 dan 34x 10^(-3) Ohm dengan citra sampel berupa daerah yang hitam (gelap) adalah matriks dan butiran-butiran adalah partikel. Ukuran butir yang merata dikarenakan penggabungan cluster-cluster lapisan tipis terbentuk secara sempurna. Hasil EDAX untuk sampel dengan waktu deposisi 30 menit menunjukan bahwa atom masih bersifat amorf dan untuk sampel dengan waktu deposisi 42 menit menunjukan kuantitas unsur yang terdiri dari MgO dan Al2O3 dengan persentasi massa berturut-turut sebesar 2,96% dan 96,87%. Jadi lapisan tipis masih kekurangan magnesium dan terkontaminasi oksigen serta presentasi boron yang masih sangat kecil, sehingga mengindikasikan kristalisasi senyawa MgB2 berlangsung kurang sempurna |
|---|
| Abtrak (Bhs. Inggris) | The research about fabrication and characterization of the MgB2 thin film on a substrate Al2O3 to study superconducting materials has been done. Thin film made with variety of deposition time 30 and 42 minutes by RF Sputtering method. This research aims to know the technique of making superconductor materials using the method of RF Sputtering and the characteristics of the thin film. The obtained result shows that the deposition time can affect the thickness and concentration of contained elements in a MgB2 thin film on Al2O3 substrate to change the resistance value. Resistance value of sample with 30 minutes and 42 minutes deposition time, respectively, are 1.213 and 34x 10^(-3) Ohm with black area (dark) of sample image is matrix and the granules are particles. Uniform grain size due to the clusters in corporation of thin film formed perfectly. The EDAX result for samples with deposition time of 30 minutes shows that the atoms are amorphous and for samples with 42 minutes deposition time shows that the quantity of elements consist MgO and Al2O3, with successive mass percentage of 2.96% and 96.87%. So thin layers still lack magnesium and oxygen and the presentation of boron contamination is still so small, thus indicating crystallization of MgB2 compounds lasted less perfect. |
|---|
| Kata kunci | Kata kunci: Superkonduktor, Lapisan tipis, Metode RF. Sputtering |
|---|
| Pembimbing 1 | Drs. Sunardi, M.Si |
|---|
| Pembimbing 2 | Aris Haryadi, M.Si |
|---|
| Pembimbing 3 | |
|---|
| Tahun | 2016 |
|---|
| Jumlah Halaman | 17 |
|---|
| Tgl. Entri | 2016-04-27 18:51:52.075038 |
|---|